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- 四探针电阻测试仪的测试要根据不同材料特性需要配置不同的探头
- 点击次数:286 更新时间:2023-02-07
- 四探针电阻测试仪所用的测量方法是一种广泛采用的标准方法,在半导体工艺中最为常用。其主要优点在于设备简单,操作方便,精确度高,对样品的几何尺寸无严格要求。除了用来测量半导体材料的电阻率以外,在半导体器件生产中广泛使用四探针法来测量扩散层薄层电阻,以判断扩散层质量是否符合设计要求。四探针电阻测试仪的测试要根据不同材料特性需要,配置不同的探头:1、高耐磨碳化钨探针探头,测量硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;2、专用探头可测试电池极片等箔上涂层电阻率/方阻;3、配合四端子测试夹具,测量电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻;4、球形镀金铜合金探针探头,测量柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。四探针电阻测试仪操作步骤:1、先松开笔身尾部端侧面的固定小螺丝,轻轻脱下尾部航空插口,保证探针头部旋转时同步旋转,防止扭线断线,短接。2、轻轻拧开探针头子,然后小心将铜片拉出,记住七片绝缘片与铜片之间的位置,将断针从铜片卡口座里取下即可。3、特别注意一定不能将铜片取下时的位置错乱,铜片位置按照航空头四芯接线绿红黄黑的顺序一字排列,并且铜片之间按照宽窄顺序互相交叉排列,以免短接。4、安装时铜片及绝缘片按照拆下时的排列轻轻塞进探针头子,并先将探针头子拧紧,再将尾部航空头插上,并且旋紧小螺丝。5、将针装好,注意针头针尾方向,尖头为探针头部。