表面体积电阻率测试仪对样品的主要要求如下：

一、表面体积电阻率测试仪几何尺寸规范

‌标准试样尺寸‌

圆形平板：直径φ100mm或φ50mm

方形平板：100×100mm²或50×50mm²

管状试样：长度100mm或50mm

基材厚度≥0.50mm时优先采用100×100mm²规格

‌厚度要求‌

常规固体材料：2-4mm（ASTM D257标准）

薄膜材料：需使用非接触式厚度仪测量5个点取平均值，误差≤±0.02mm

二、表面体积电阻率测试仪表面处理要求

‌清洁规范‌

使用异丙醇与去离子水（3:1）混合液擦拭表面

特殊污染物需用400目氧化铝抛光膏处理，处理后接触电阻<0.1Ω

‌干燥条件‌

105℃烘箱干燥2小时以消除静电

平衡处理：在23±2℃、50±5%RH环境下静置24小时

三、表面体积电阻率测试仪特殊材料要求

‌复合材料‌

需分层测试并记录层间接触电阻

半导体材料需采用四点探针法消除边缘效应

‌纳米涂层/薄膜‌

实施多点采样法，每个样品至少选取5个测试点

安装时需使用真空吸附装置避免气泡干扰

四、表面体积电阻率测试仪电极制备标准

‌导电层处理‌

覆铜箔面采用蚀刻法制备标准电极图形

未覆铜面需涂覆导电银漆，涂层厚度≤50μm

‌特殊形状样品‌

管状样品需保证电极覆盖周长≥90%

不规则试样需通过机械加工获得平行测试面

五、表面体积电阻率测试仪数量与质量控制

常规测试需≥3个有效样品

高精度测量时每组数据需连续记录3组稳定值，偏差>10%需复测

注：以上要求综合GB/T 1410、IEC 60093及ASTM D257等标准制定，实际测试应根据具体材料特性调整参数。

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