四探针电阻测试仪是一种用于测量物质电阻率、电阻及方块电阻的专业设备，广泛应用于半导体材料、薄层材料检测以及化工、建材等行业。它基于四探针接触法设计，通过外侧两探针施加稳定电流，内侧两探针测量电势差，实现电流-电压分离测量，有效消除接触电阻和引线电阻的干扰，确保测量结果的高精度。

　　该仪器适配多种样品形态，包括块状、棒状及薄膜材料，测量范围覆盖电阻率10⁻⁴～10⁵Ω·cm，标准不确定度≤2%。其硬件配置先进，采用液晶显示屏与自动温度补偿系统，二代机型配备自动传感测试架，减少探针与样品接触损伤。内置计算机可自动调整系数，通过接口实现数据存储与导出，提升操作便捷性。

　　四探针电阻测试仪的保养方法：

　　一、日常保养（每次使用前后）

　　清洁探针

　　目的：去除探针尖d的氧化物、油污、灰尘或残留样品，防止接触不良和测量误差。

　　方法：

　　使用无水乙醇（分析纯）或异丙醇浸湿无尘布或棉签，轻轻擦拭四个探针的尖d。

　　对于顽固污染物，可使用极细的研磨纸（如金相砂纸，粒度≥1000#）极其轻微地打磨探针尖d，然后用酒精彻d清洁。（此操作需谨慎，避免改变探针形状或间距）

　　严禁使用硬物刮擦或腐蚀性溶剂。

　　清洁样品台

　　用干净的无尘布或蘸有无水乙醇的棉签擦拭样品台表面，确保无灰尘、油渍或导电残留物，避免影响测量或造成短路。

　　检查探针状态

　　目视检查四个探针是否笔直、无弯曲、无断裂。

　　确认探针尖d锐利但不过分锋利（避免划伤样品），无严重磨损或变形。

　　检查探针间距是否一致（可用放大镜观察）。

　　检查加载机构

　　手动升降探针数次，感受是否有卡顿或松动。

　　确保恒力弹簧或压力调节装置工作正常，探针能平稳下落并保持稳定接触压力。

　　二、定期保养（每周/每月）

　　深度清洁

　　断开电源，用压缩空气（低气压）吹扫探针支架、样品台及周围区域，清除积聚的细小颗粒。

　　检查并清洁探针与线缆的连接点，确保接触良好。

　　校准验证

　　使用标准样片（已知电阻率或方块电阻的标准硅片或薄膜电阻片）进行测量。

　　将测量结果与标准值对比，评估仪器的准确性和重复性。

　　如果偏差超出允许范围（如±5%），需要进行校准或维修。

　　检查线缆与接口

　　检查所有连接线缆（探针线、电源线）是否有破损、挤压或接触不良。

　　确保各接口（如USB、RS232）清洁、牢固。

　　三、长期/专业保养（每季度/半年/年度）

　　探针更换

　　当探针出现严重磨损、弯曲、断裂或无法通过清洁恢复性能时，必须更换。

　　务必使用原厂或规格完q匹配的探针，确保材质、直径、长度和间距一致。

　　更换后需重新进行校准验证。

　　机械结构维护

　　对升降导轨、轴承等运动部件进行润滑（使用专用精密仪器润滑油，避免过量）。

　　检查并紧固所有螺丝和固定件，防止松动影响探针垂直度。

　　电气系统检查

　　由专业技术人员检查恒流源的稳定性、电压表的精度以及内部电路板状态。

　　必要时进行专业校准（traceable calibration），确保符合计量标准。

　　软件与固件更新

　　检查制造商是否有发布新的控制软件或固件更新，以提升性能或修复已知问题。

　　四、通用注意事项与存放

　　轻拿轻放：避免剧烈震动或撞击，尤其是探针部分非常脆弱。

　　环境要求：

　　存放和使用环境应干燥、清洁、无腐蚀性气体。

　　避免阳光直射和温度剧烈变化。

　　理想温湿度：室温（20-25°C），相对湿度<60%。

　　防尘保护：

　　不使用时，用防尘罩覆盖仪器，或存放在专用仪器柜中。

　　可在仪器内放置干燥剂，防潮。

　　正确操作：

　　测量时确保样品表面平整、清洁、干燥。

　　探针应垂直下落，避免侧向受力。

　　避免在通电状态下插拔探针线缆。

　　记录保养日志：

　　建立设备保养档案，记录每次清洁、校准、更换部件的日期和内容。