双电测电四探针方阻电阻率测试仪描述

采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.

双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.

双电测电四探针方阻电阻率测试仪适用范围

四端测试法是目前较*之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。

本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电导率单位自动选择，BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。

本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、压强值、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求

1. 便于查看的显示/直观的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示；操作易学，直观使用；

2. 基本设置操作简单，方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果；多种参数同时显示。

3. 精度高：电阻基本准确度： 0.05％；方阻基本准确度：3%；电阻率基本准确度：3%

4. 整机测量最大相对误差：≤±3%；整机测量标准不确定度：≤±3%

5. 四位半显示读数；八量程自动或手动测试；

6. 测量范围宽： 电阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；

7. 正反向电流源修正测量电阻误差

8. 恒流源：电流量程分为： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六档；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。

9. 可配合多种探头进行测试；也可配合多种测试台进行测试。

10. 校正功能：可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。

11. 厚度可预设，自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率。

12. 自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。

13. 双电测测试模式，测量精度高、稳定性好.

14. 具备温度补偿功能，修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。

15. 比较器判断灯直接显示，勿需查看屏幕，作业效率得以提高。

3档分选功能：超上限，合格，超下限，可对被测件进行HI/LOW判断，可直接在LCD使用标志显示；也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。

16. 测试模式：可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。

17. 丰富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。实现远程控制。U盘可记录测试数据

18. 软件功能（选配）：软件可记录、保存、各点的测试数据；可供用户对数据进行各种数据分

析。

标配：测试平台一套、主机一套、电源线数据线一套。

参照标准：

1.硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

双电组合测试方法：

利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，适用于斜置式四探针对于微区的测试。