四探针方阻电阻率检测仪技术参数1.方块电阻范围 10^-5～2×10^5Ω/□2.电阻率范围 10^-6～2×10^6Ω-cm测试电流范围 0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA4.电流精度 ±0.1%5.电阻精度 ≤0.3%6.显示读数 液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式 普通单电测量8.工作电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗 lt;30W

四探针方阻电阻率检测仪适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

技术参数资料 主机加手动装置一套1.方块电阻范围：10-5～2×105Ω/□2.电阻率范围：10-6～2×106Ω-cm3.电导率范围：106～0.5×10-6s/cm3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.电流精度：±0.1%读数5.整机不确定性重复性误差：≤3%（平均性误差，人为因数外）6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式: 双电组合测量8.模具选购：模具A内径：20mm ；模具B:内径10mm

自动测量晶圆电阻率探针头方便更换探针头由软件可识别探针半径0.25mm软件自动计数软件可以再次测量单点四探针电阻率仪规格参数10x10绘图测试时间：4分钟测试电流：30mA可测电阻率：0.001～1999Ω·cm（10-3～10+3Ω·㎝）可测方块电阻：0.01～19000Ω/□（10-2～10+4Ω/□）注意：使用0.1档电流测方阻时,由于受数字表位数的限制,电压表上读出的方阻数均要×10。例如电流表在0.1ｍA档,电流选0453,电压表读数为1900时, 方阻值为:1900×10=19000(Ω/□);电压表读数为860时,方阻值为:860×10=8600(Ω/□)。电流表选在1、10、100 mA档时不存在以上问题。直流数字电压表：测量范围：0～199.9mV灵敏度：100μV准确度：0.2%（±2个字）输出电阻：≥1000MΩ